Стационарная вакуумная дуга в технологических системах для обработки поверхности
Хороших В.М.
Статья. Опубликована в ФІП ФИП РSE. 2003 т.1 с.19-
24. Библ. - 73наим.
В работе выполнен обзор по применению плазмы стационарного вакуумно-дугового разряда с интегрально холодным катодом для получения покрытий различного назначения. Исследовано изменение параметров плазмы при взаимодействии ее с газовой мишенью в объеме вакуумной камеры.
24. Библ. - 73наим.
В работе выполнен обзор по применению плазмы стационарного вакуумно-дугового разряда с интегрально холодным катодом для получения покрытий различного назначения. Исследовано изменение параметров плазмы при взаимодействии ее с газовой мишенью в объеме вакуумной камеры.